Lífræn kísil milliefni · Silylating efni
Hexametýldisílazan (HMDS)
(Bis(trímetýlsílýl)amín / HMDS vatnsfrítt)
| CAS nr. | 999-97-3 |
| IUPAC nafn | 1,1,1,3,3,3-hexametýldisílazan |
| Samheiti | HMDS, hexametýldisílazan, 1,1,1,3,3,3-hexametýldisílazan, bis(trímetýlsílýl)amín, hexametýlsílazan, N-(trímetýlsílýl)trímetýlsílýlamín |
| Sameindaformúla | C₆H₁₉NSi₂ [(CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃] |
| Mólþyngd | 161,39 g/mól |
| HS kóða | 2931900090 |
| Einkunn í boði | Iðnaðar Lyfjafræði Rafræn (5N / 6N) |
Hvað er Hexamethyldisilazane (HMDS)? Yfirlit
Hexametýldisílazan (HMDS), einnig skrifað semhexa metýl disilazaneða1,1,1,3,3,3-hexametýldisílazan(CAS 999-97-3), er litlaus, mjög rokgjarnt lífrænt kísilefnasamband með einkennandi ammoníaklíka lykt.HMDS fullt form:Hexamethyldisilazan - nafn sem endurspeglar byggingu þess tveggja trímetýlsílýlhópa sem eru brúaðir með köfnunarefnisatómi:(CH3)3Si-NH-Si(CH3)3. Þessi einstaka disilazane arkitektúr gerir skilvirka silýleringu á frumvirkum hópum (hýdroxýl, amínó, karboxýl) og framúrskarandi yfirborðsvatnsfælni, sem gerir HMDS að óbætanlegu efnafræðilegu hvarfefni í hálfleiðaralitógrafíu, lyfjagerð, háþróuðum efnum og yfirborðsmeðferðariðnaði.
Ólíkt hefðbundnum silýlerandi efnum eins og trímetýlklórsílan (TMCS), býður HMDS mildari hvarfaðstæður, hærri síýlerunarávöxtun og marktækt minni eftir-vöruframleiðslu - mikilvæga kosti fyrir háa-framleiðslu þar sem strangs hreinleika og vinnsluhreinleika er krafist. HMDS bregst hratt við raka til að losa ammoníak, þannig að allar tegundir verða að meðhöndla og geyma undir köfnunarefnisvörn.
Við erum í samstarfi við leiðandi kínverska framleiðendur - þar á meðal aðstöðu sem er vottuð af SMIC og Yangtze Memory - til að útvega HMDS í iðnaðar-, lyfja- og rafeindagráðu á samkeppnishæfu verði, með sveigjanlegum umbúðum frá gramm-hvarfefnistrommur til iðnaðar IBC-töskur, sem þjóna kaupendum í Evrópu, Norður-Ameríku, Suðaustur-Asíu og Miðausturlöndum.
Eðlis- og efnafræðilegir eiginleikar HMDS
HMDS upplýsingar - Allar einkunnir
| Forskrift | Iðnaðareinkunn Yfirborðsmeðferð / fylliefni |
Lyfjafræðileg einkunn Lyfjamyndun (GMP) |
Rafræn einkunn Hálfleiðara Lithography |
|---|---|---|---|
| Hreinleiki (GC) | Stærra en eða jafnt og 98,0% | Stærra en eða jafnt og 99,5% | Stærri en eða jafnt og 99,999% (5N) allt að 6N fyrir háþróaða hnúta |
| Vatnsinnihald | Minna en eða jafnt og 0,1% | Minna en eða jafnt og 0,02% | Minna en eða jafnt og 0,005% (Minna en eða jafnt og 50 ppm) |
| Litur (Pt-Co) | Minna en eða jafnt og 30 | Minna en eða jafnt og 10 | Minna en eða jafnt og 5 |
| Suðumark | 125–127 gráður | 126,0–126,5 gráður | 126,2 ± 0,2 gráður |
| Flash Point | 17 gráður (lokaður bolli) | 17 gráður (lokaður bolli) | 17 gráður (lokaður bolli) |
| Óhreinindi úr málmi | Ekki tilgreint | Ein jón Minna en eða jafnt og 10 ppm | Ein jón Minna en eða jafnt og 1 ppb (ppt stig fyrir 14nm hnúta) |
| Geymsluþol | 6 mánuðir (N₂-innsiglað) | 12 mánuðir (N₂-lokað, dökkt) | 18 mánuðir (ofur-hreint N₂-lokað) |
| Umbúðir | 180 kg stál tromma 1000 kg IBC töskur |
20L HDPE tromma 200L N₂-lokuð stáltromma |
10L kvars-fóðruð tromma 200L ofur-hrein stáltromma |
Samræmist GB/T 30301-2013, REACH & TSCA. COA, SDS/MSDS og prófunarskýrslur frá þriðja aðila fáanlegar sé þess óskað.
HMDS notkun og notkunarsvið
1. Hálfleiðaralithography - Photoresist Adhesion Promoter
HMDS er-iðnaðarstaðallinnviðloðun sem stuðlar að viðloðun, grunni og vatnsfælin húðunarefnií steinþrykk úr sílikonskúffu, sem svarar til yfir40% af heildar HMDS neyslu. Notað sem gufu-fasa grunnur (VPP) fyrir ljósþolshúð, hvarfast HMDS við yfirborðshýdroxýlhópa (Si–OH) á skífunni og myndar þétt vatnsfælin trímetýlsilýllag. Þetta bætir verulega viðloðun ljósþols, kemur í veg fyrir að viðloðna flögnun meðan á þróun stendur og útilokar myndun brúnperlu - sem tryggir nákvæma fíngerða hringrásarmynstur niður að28nm hnútar og neðan.
Eftir því sem háþróaðir hálfleiðarahnútar fara í 14nm, 7nm og lengra hafa hreinleikakröfur aukist í5N (99,999%) og 6N einkunnir, með málmóhreinindum stjórnað á ppb–ppt stigi. HMDS vörurnar okkar í rafrænum-gráðu nota háþróaða tækni til að fjarlægja snefilmálm, sem uppfylla hæfisstaðla leiðandi framleiðanda, þar á meðal SMIC, Yangtze Memory, Changxin Memory og UMC.
2. Lyfjaiðnaður - Silylating efni fyrir lyfjamyndun
Í lyfjagerð er HMDS mikið notað sem asilylating efnitil að vernda hvarfgjarna frumvirka hópa (–OH, –NH₂, –COOH) í lyfjamilliefnum, koma í veg fyrir óæskileg aukaverkanir og bæta marktækt viðbragðssértækni og markafrakstur vöru. Það er lykilhvarfefni í myndun -æxlis-, veiru- og ofnæmisvirkra lyfjaefna (API).
Lyfja-háð HMDS okkar (meira en eða jafnt og 99,5% hreinleiki, GMP-samhæft) hefur verið staðfest af leiðandi CDMO lyfjafyrirtækjum og veitir stöðuga lotugæði sem eru nauðsynleg fyrir rannsóknir og þróun lyfja og stór-framleiðsla.
Tilvísun:United States Pharmacopeia (USP) ↗
3. Efni og yfirborðsmeðferð - Vatnsfælni
HMDS er mjög áhrifaríktvatnsfælniefnifyrir ólífræn fylliefni eins og reykt kísil og títantvíoxíð. Yfirborðsbreyting með HMDS bætir verulega samhæfni fylliefnis og fylkis í kísilgúmmíi og epoxý plastefni samsettum efnum, sem eykur vélræna eiginleika (seigju, togstyrk) og veðurþol. Það er mikið notað í OLED-hjúpunarefni og glermeðhöndlun með ljósaeiningum, þar sem HMDS-breytt yfirborð sýnir verulega bætta rakahindrun, sem lengir endingartíma í erfiðu umhverfi utandyra.
Fyriryfirborðsmeðferð á gleri, keramik og málmi, HMDS myndar þétta, samgilt tengda vatnsfælna filmu sem kemur í veg fyrir frásog raka og tæringu.
4. Greiningarefnafræði og fínefnafræði
Í greiningarefnafræði er HMDS notað sem aafleiðuhvarfefnifyrir GC greiningu á prótískum efnasamböndum (alkóhólum, fenólum, karboxýlsýrum). Silýleraðar afleiður sýna meiri rokgjarnleika og bættan litskiljunaraðskilnað, sem gerir nákvæma magngreiningu á snefilefnum í flóknum fylkjum kleift.
Í fínum efnum þjónar HMDS sem milliefni fyrir hágæða kísil yfirborðsvirk efni og kísill plastefni sem notuð eru í daglegum efnum og textílprentun. Gert er ráð fyrir að rafræna -gráðu HMDS markaðurinn muni vaxa með CAGR upp á 18,3% til ársins 2026, knúinn áfram af því að flýta fyrir staðsetningu hálfleiðara og stækkun CDMO getu lyfja.
Tilvísun:ECHA REACH skráning - HMDS ↗
5. HMDS sem grunnur - LiHMDS, NaHMDS & KHMDS
Fyrir utan hlutverk sitt sem silylerandi efni, er HMDS lykilforveri hinna víða notuðu málmamíðbasa:LiHMDS(litíumhexametýldisílazíð, litíum bis(trímetýlsílýl)amíð),NaHMDS(natríumhexametýldisílazíð), ogKHMDS(kalíumhexametýldisílazíð). Þessir sterku, hindruðu basar eru nauðsynleg hvarfefni í lyfjafræðilegri og fínefnafræðilegri myndun fyrir sértæka enólatmyndun, stýrða afprótónun og ósamhverfum viðbrögðum þar sem sterísk magn og efnavalvirkni eru mikilvæg.
LiHMDS(CAS 4039-32-1) er mest notaður, verðlaunaður fyrir háan grunnleika (pKa ~30 í THF) og framúrskarandi leysni í eterískum leysum.NaHMDSogKHMDSbjóða upp á vaxandi hvarfvirkni og eru notuð þar sem LiHMDS er ekki nægilega hvarfgjarnt. Allir þrír eru framleiddir úr HMDS sem aðal upphafsefninu, sem gerir HMDS framboð með mikilli-hreinleika mikilvægt fyrir framleiðslu þeirra.
Við seljum há-hreinleika HMDS sem hentar sem hráefni fyrir LiHMDS, NaHMDS og KHMDS framleiðslu. Hafðu samband við okkur fyrir magnupplýsingar.
Hvernig er HMDS búið til? Framleiðsluferli
HMDS er framleitt í atvinnuskyni eftir tveimur aðalleiðum. Hin hefðbundnaklórsílan ammonolýsu ferlihvarfast trímetýlklórsílan (TMCS) við umfram ammoníak: 2 (CH₃)₃SiCl + NH₃ → (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + 2 HCl. Aukaafurðin HCl er hlutlaus og hráafurðin hreinsuð með fjöl-leiðréttingu. Valkosturgræna umbreytingartækninotar hexamethyldisiloxan (HMDSO) og ammoníak við hvataaðstæður, sem dregur úr klóríð aukaafurðum- og umhverfisáhrifum.
Samstarfsframleiðendur okkar reka samfellda ammonolýsuframleiðslulínur með fjölþrepa leiðréttingu og sameindasigti aðsogshreinsikerfi, sem skilar stöðugum hreinleika frá lotu til lotu í öllum flokkum.
HMDS geymsla, stöðugleiki og öryggismeðhöndlun
Geymslukröfur
Geymið á köldum (0–25 gráður), þurrum, vel-loftræstumsprengivörn-vöruhúsfjarri hitagjöfum, opnum eldi og beinu sólarljósi. Allar umbúðir verða að vera köfnunarefnis-þéttar til að einangra raka og loft - HMDS vatnsrofs hratt við snertingu við raka umhverfisins. Iðnaðareinkunn: köfnunarefnis-lokaðar stáltromlur. Lyfja- og rafeindaflokkar: ofur-hrein köfnunarefnis-lokuð HDPE eða kvars-fóðruð tunnur (ISO 14644 hreinar umbúðir fyrir rafræna einkunn). Aðskilja frá oxunarefnum og sterkum sýrum með að minnsta kosti 20-fóta aðskilnaði eða 30-mínútna eldvarnar-hindrun. Hámarks stafla: 2 lög fyrir 180 kg stáltromlur. Búðu til vöruhús með sprengiheldri lýsingu og þurrdufti eða CO₂ slökkvitækjum.
Stöðugleiki athugasemd
HMDS er efnafræðilega stöðugt þegar það er geymt þurrt og undir köfnunarefni. Útsetning fyrir raka veldur vatnsrofi; útsetning fyrir sterkum sýrum eða oxunarefnum getur valdið harkalegum viðbrögðum. Forðist langvarandi útsetningu fyrir hitastigi yfir 30 gráðum til að koma í veg fyrir hraðari rokgjörn.
Öryggi og meðhöndlun (SDS / MSDS Samantekt)
PPE krafist:Anti-truflanir fatnaður, nítrílgúmmíhanskar (þrífalt-lag fyrir-hættulegar aðgerðir), efnaöryggisgleraugu, andlitshlíf og öndunarvél með lífrænum gufu (SCBA fyrir lokuð rými). Ekki borða, drekka eða reykja meðan á aðgerð stendur.
Viðbrögð við leka:Skerið strax á kveikjugjafa, rýmdu upp í vindinn. Einangraðu lekasvæði. Gleypið með þurrum sandi eða gos ösku - notið EKKI vatn. Flyttu frásogað efni yfir í lokuð ílát til förgunar. Ekki losa í fráveitur eða jarðveg.
Skyndihjálp:Húð - fjarlægðu mengaðan fatnað, þvoðu með sápu og vatni í meira en eða jafnt og 15 mín. Skolaðu augu - með vatni lengur en eða jafnt og 15 mínútur, leitaðu læknis. Innöndun - farðu strax í ferskt loft. Inntaka - framkalla ekki uppköst; leita bráðalæknis. Full SDS/MSDS PDF fáanleg hjá söluteymi okkar.
HMDS Verð - 2025 Markaðstilvísun
TheHMDS verð(verð á hexamethyldisilazan) er verulega breytilegt eftir hreinleikaflokki, umbúðaforskrift og pöntunarmagni. Eftirfarandi eru leiðbeinandi 2025 viðmiðunarverð fyrir Kína-upprunavöru (af-verksmiðju):
Stærra en eða jafnt og 98,0%
Stærra en eða jafnt og 99,5%
Stærri en eða jafnt og 99,999% (5N)
Algengar spurningar um HMDS
Sp.: Hvað stendur HMDS fyrir? Hvað er HMDS full form?
HMDS stendur fyrirHexametýldisílazan- fulla efnaheitið er 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazan, einnig skrifað sem hexa methyl disilazane. Í efnafræði vísar HMDS sérstaklega til þessa lífrænna kísilefnasambands (CAS 999-97-3) með uppbyggingu (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. Athugið: „HMDS“ er einnig notað sem skammstöfun á óskyldum sviðum (td læknisfræðilegum, hernaðarlegum eða landbúnaðarsamhengi), en í samhengi efnafræði og hálfleiðaraframleiðslu þýðir HMDS undantekningarlaust hexamethyldisilazane.
Sp.: Til hvers er HMDS notað í hálfleiðaraframleiðslu?
HMDS er notað sem gufu-fasaviðloðun (grunnur) sem er borinn á yfirborð kísilskúffu áður en húðun er ljósþolnar. Það hvarfast við Si–OH hópa á yfirborði til að mynda vatnsfælin trímetýlsílýl einlag, sem bætir verulega viðloðun ljósþols, kemur í veg fyrir aflögun við blautþróun og tryggir víddarnákvæmni fíns hringrásarmynstra. Það er staðlað vinnsluefni í nánast öllum kísilskúffum á heimsvísu, frá eldri 200 mm til fremstu- 300 mm EUV steinþrykkjalína.
Sp.: Hver er munurinn á iðnaðargráðu og rafrænni HMDS?
Iðnaðargráða (hærra en eða jafnt og 98,0%) er hentugur fyrir yfirborðsmeðhöndlun á fylliefnum (kísilreyg, TiO₂), húðun og almenna silýlerunarnotkun þar sem innihald snefilmálms er ekki mikilvægt. Rafræn stig (Stærra en eða jafnt og 99,999%, 5N) krefst einstakra málmóhreininda undir 1 ppb - skylda fyrir hálfleiðara steinþrykk þar sem málmmengun undir-ppb myndi valda bilun í tækinu. Electronic Grade er pakkað undir ofur-hreinum ISO 14644 skilyrðum í kvars-fóðruðum eða vottuðum ofur-hreinum stáltrommur, með hverri lotu fylgir fullri ICP-MS snefilmálmaskýrslu.
Sp.: Af hverju bregst HMDS við vatni og hvernig ætti að geyma það?
HMDS inniheldur Si–N–Si tengi sem er mjög næmt fyrir vatnsrof: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH + NH₃. Ammoníakið sem losnar skapar þrýstingsuppbyggingu í lokuðum ílátum og hexamethyldisiloxane (HMDSO) sem myndast mengar vöruna. Allar tegundir verða því að geyma undir þurru köfnunarefni í lokuðum ílátum, við 0–25 gráður, fjarri öllum rakagjafa. Opin ílát ætti að-innsigla strax aftur og teppi með köfnunarefni eftir hverja notkun.
Sp.: Hvað er HMDS og hvernig er það frábrugðið HMDSO?
HMDS (hexamethyldisilazane, CAS 999-97-3) inniheldur Si–N–Si tengingu og er virka síýlerandi hvarfefnið. HMDSO (hexamethyldisiloxane, CAS 107-46-0) inniheldur Si–O–Si tengingu og er aukaafurð vatnsrofs HMDS - það er mun minna hvarfgjarnt. HMDS er notað sem efnafræðilegt yfirborðsbreytingarefni og síýlerunarhvarfefni; HMDSO er aðallega notað sem óhvarfandi sílikonvökvi og hráefni fyrir HMDS myndun. Þessu tvennu ætti ekki að rugla saman þegar tilgreint er efni til steinþrykks eða lyfjafræðilegra ferla.
Sp.: Hvaða vottorð ætti ég að krefjast frá HMDS birgi?
Fyrir iðnaðarnotkun: ISO 9001 (gæðastjórnun) og ISO 14001 (umhverfis). Fyrir lyfjafræðilega einkunn: GMP-samræmi, hæfni til að veita USP/EP-tilvísað COA og QC-skýrslur þriðja-aðila. Fyrir rafræna einkunn: Staðfesting á hæfi hálfleiðara eftirleiðara (td SMIC, UMC vottun), samræmi við SEMI F47 eða samsvarandi efnisstaðla, full ICP-MS snefilmálmaskýrsla fyrir hverja lotu og ISO 14644 vottaðar hreinar umbúðir. Allar einkunnir ættu að bera núverandi REACH og TSCA skráningar fyrir alþjóðlegan útflutning.
Sp.: Hvað gerist þegar HMDS bregst við vatni?
HMDS hvarfast hratt við vatn með vatnsrofi: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH → (CH₃)₃Si–O–Si(CH₃)₃ + NH₃. Vörurnar eru hexamethyldisiloxane (HMDSO) og ammoníak. Þetta hvarf er útvarma og myndar ammoníakgas, sem skapar þrýsting í lokuðum ílátum og rýrir hreinleika vörunnar. Þess vegna verður að geyma og meðhöndla allar HMDS flokkar -, þar á meðal iðnaðar--, alltaf undir þurru köfnunarefni. Jafnvel raki í umhverfinu getur komið af stað hægu vatnsrofi yfir langan geymslutíma.
Sp.: Hverjir eru helstu kostir við HMDS og hvenær er HMDS valinn?
Algengar valkostir fyrir silýlerunarefni eru trímetýlklórsílan (TMCS), N-metýl-N-trímetýlsílýlasetamíð (MSA) og N,O-bis(trímetýlsílýl)asetamíð (BSA). HMDS er ákjósanlegt þegar væg viðbragðsskilyrði eru nauðsynleg (engin HCl auka-afurð), þegar mikil silylerunarafrakstur er mikilvægur, eða þegar ferlið krefst lágmarksmengunar frá súrum eða ætandi aukaafurðum -- sem gerir það að staðalvali fyrir meðhöndlun á hálfleiðaraskífum og lyfjagerð. Fyrir magn iðnaðar vatnsfælni þar sem kostnaður er aðal drifkrafturinn, er hægt að nota TMCS sem lægri-kostnavalkost.
Tilvísanir og staðlar iðnaðarins
Alhliða eðlisefnafræðilegir eiginleikar, eiturefnafræðileg gögn, GHS flokkanir og reglugerðarupplýsingar.
Alþjóðleg staðlastofnun fyrir hreinleikaforskriftir fyrir hálfleiðara efni og hæfisreglur.
Opinber REACH málsskjöl ESB: hættuflokkun, váhrifasviðsmyndir og eftirlitsstaða.
Alheimsvald fyrir greiningar- og-hvarfefni með miklum hreinleika; viðmiðunarstaðall fyrir HMDS gæðaviðmið.
Fáðu tilboð · Tæknilegt ráðgjöf
Biðja um HMDS verðlagningu og vöruaðstoð
Við seljum HMDS (CAS 999-97-3) í iðnaðar-, lyfja- og rafeindaflokki með samkeppnishæfu verði og sveigjanlegum umbúðum. Hafðu samband við teymið okkar til að fá sérsniðna tilboð, SDS/MSDS eða umsóknarleiðbeiningar.
Tengdar vörur: Trimethylchlorosilane (TMCS) · Hexamethyldisiloxane (HMDSO) · Önnur lífræn kísil milliefni
maq per Qat: hexamethyldisilazane, Kína hexamethyldisilazane framleiðendur, birgjar
